北方华创申请工艺执行控制专利，提高处理工艺整体时长控制精度

金融界2025年5月2日消息，国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“一种工艺执行控制方法及半导体工艺设备”的专利，公开号CN119890084A，申请日期为2024年12月。

专利摘要显示，本申请提供了一种工艺执行控制方法及半导体工艺设备，该方法在每一工艺步骤的执行过程中确定当前工艺步骤的剩余工艺时长，响应于该剩余工艺时长大于预定时长，基于该剩余工艺时长确定第一目标时长并休眠该第一目标时长后再次确定当前工艺步骤的剩余工艺时长，响应于该剩余工艺时长大于0且小于等于该预定时长，休眠第二目标时长后控制当前工艺步骤结束执行，其中，第二目标时长由当前时刻与当前工艺步骤的指定结束时刻的时间差确定，第一目标时长大于第二目标时长，由此，能够精准控制当前工艺步骤的结束时刻，进而能够提高在处理工艺的整体工艺时长的控制精度，保证了晶圆的工艺加工效果。

天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目1028次，财产线索方面有商标信息61条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可340个。

本文源自：金融界

作者：情报员